我々の用いるSEM（日立S-3100H）には，EDX（堀場EMAX-7000）が附設しています．試料に電子線を照射することによって２次電子と反射電子，特性Ｘ線が発生します．SEMでは，２次電子と反射電子を検出して２次電子像（凹凸像）と反射電子像（組成像）を得，試料表面の状態や組成の違いなどの観察を行います．一方，特性Ｘ線はEDXの検出器で検出されます．EMAX-7000は原子番号5のホウ素から92のウランまでの分析が可能とされていますが，実際には主要元素（Si，Al，Mg，Fe，Ca，Naなど）の分析に用いています．SEM-EDXの利点は，EPMAなどとは異なり，扱いの簡便性にあります．試料交換時には試料室全体が開放されるため，試料の大きさ・形状・個数も任意にとれ，出し入れや操作も単純です．またEPMAと比べると精度が劣る反面，?@標準試料に頼らず分析が可能である，?A検出器は分光光学系ではなく，半導体のエネルギー分解能を利用するため，測定時間が分析元素数に依存しない，?B?A同様の理由で測定後，分析元素の変更が可能である，?C面分析（マッピング）も範囲・元素数に依存せず短時間で行える，などの点で優れています．
我々のSEM-EDXの特徴
通常SEMは試料交換時に大気開放しますが，我々のSEMは試料室内に窒素を導入します．これは，?@EDX検出器先端部分の保護，?A試料と試料室内の汚染を防ぐ，?B電子銃部分まで開放されるため，フィラメントの酸化を防止する，といった利点があります．さらに最大の特徴は，SEM-EDXとSIMS，光学顕微鏡の空間座標系の共有を可能にした点です（L-MIS）．L-MIS 導入によって，SEM-EDX で記載・主要元素分析を行うことが，SIMSでの分析の有効性を高め，且つ，SIMSでの分析によってSEM-EDXでのデータが活かされることになるのです．
試料準備室